要高效进行硕士论文查重，首先要选择专业的查重工具。常用的查重工具有Turnitin、iThenticate等，它们能够全面检测论文的原创性。其次，合理安排时间，提前规划查重时间，避免临近截止日期才开始查重。另外，注意文献引用格式，遵循规范的引用格式能够减少重复率。最后，定期查看查重报告，及时调整论文内容，确保通过查重。

除了使用专业的查重工具外，还可以借助一些辅助工具提高查重效率。比如，可以利用文献管理软件管理参考文献，避免引用错误或遗漏。此外，可以通过调整文章结构，修改句式表达方式等方法，增加论文的独特性，减少重复率。同时，可以请同行或老师帮忙审查，发现问题及时修改。总的来说，高效进行硕士论文查重需要综合利用工具和方法，保证论文原创性和质量。